563Amorphous Si,Gel-,:H films are prepared by decomposition of SiHJGeH, mixtures in a rf glow discharge. With increasing Ge-content the optical gap aa well as the energy and the half width of the luminescence peak decrease linearly. It is concluded that by admixture of Ge the tail state distribution becomes steeper and that the concentration of defects is considerably enhanced. Already small amounts of Ge lead to a drastic decrease of the photoconductivity (vpt-product).Amorphe Si,Gel--z : H-Schichten werden durch Zersetzung von SiHJGeH,-Mischungen in einer HFGlimmentladung hergestellt. Mit zunehmendem Ge-Gehalt nimmt sowohl das optische Gap als auch die Energie und Halbwertsbreite des Lumineszenzmaximums linear ab. Es wird angenommen, daB durch die Zumischung von Ge die Verteilung der Auslluferzustlnde steiler wird und daB die Konzentration von Defekten betrlchtlich erhoht wird. Schon geringe Mengen von Ge fiihren zu einem drastischen Riickgang der Photoleitflhigkeit (vpt-Produkt).