PECVD mit der Bandhohlkathode

Abstract

Niederdruck‐Glimmentladungen sind für die Entwicklung neuartiger Oberflächenmodifikationen und ‐beschichtungen von Stahlfeinblechen von großem Interesse. Die Herausforderungen bei der Integration der Plasmaprozesse in vorhandene kontinuierliche Beschichtungsprozesse von Feinblech bestehen in der Notwendigkeit von sehr hohen Behandlungsraten und minimalen parasitären Ablagerungen. Unter Berücksichtigung dieser Anforderungen wurde auf Basis einer scheibenförmigen Hohlkathode, die von den Substraten selbst gebildet wird, ein neuartiges Bandhohlkathodenverfahren (Strip Hollow Cathode – SHC) für die Oberflächenbehandlung entwickelt. Dieses Verfahren hat hohes Potenzial für die kontinuierliche Behandlung von Stahlband, was anhand unterschiedlicher Anwendungsbereiche aufgezeigt wird.