Optimisation of the Technology of Polishing of Input Windows Made of Optical Ceramics Ko1, Ko12 for Ir Sensors

Abstract

In this work on the base of elipsometric measurements the technology of machine work of polished details made of optical ceramics KO1, KO12 was optimised. The ellipsometry is a highperformance contactless method of the control of quality of optical surfaces, in which the sharp response of condition of polarisation of the light to the properties and parameters of a surface and surface layers of an investigated reflective system is used. It is shown, that the highly productive technology of a diamond polishing provides achievement of ellipsometric parameters at level of conventional methods of polishing.Keywords. Ellipsometric control, diamond polishing, optical ceramics. Анотація ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ПОЛІРУВАННЯ ВХІДНИХ ВІКОН НА ОСНОВІ ОПТИЧНОЇ КЕРАМІКИ KO1, KO12 ДЛЯ ІЧ СЕНСОРІВ В. П. Маслов, А. З. СарсембаєваВ даній роботі на основі еліпсометричних вимірів було оптимізовано технологію меха-нічної обробки полірованих деталей з оптичної кераміки КО1 та КО12. Еліпсометрія -високоефективний безконтактний метод контролю якості оптичних поверхонь, в якому використовують залежність стану поляризації світла від властивостей та параметрів пове-рхні та поверхневих шарів досліджуваної відбивної системи. Показано, що високопродук-тивна технологія алмазного полірування забезпечує досягнення еліпсометричних параме-трів на рівні традиційних методів полірування.Ключові слова. Еліпсометричний контроль, алмазне полірування, оптична кераміка.