Optical properties of Cr/Si(001) interfaces

Abstract

Дослiджено вплив хрому на змiну оптичних характеристик iнтерфейсiв Cr/Si(001) за їх окислення. На основi експериментально вимiряних значень елiпсометричних параметрiв ρ i ∆ розраховано оптичну провiднiсть iнтерфейсiв, пов'язану з мiжзонними переходами, в iнтервалi вiд 1 до 4.5 еВ. Виявлено, що окислення суттєво впливає на оптичну провiднiсть плiвок хрому товщиною до 2 нм.Ключовi слова: елiпсометричнi параметри, оптична провiднiсть, окислення.