Novel low-cost uncooled infrared camera (Invited Paper)

Abstract

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ИК-ИЗЛУЧЕНИЯ НА БАЗЕ МИКРОРЕЗОНАТОРОВ ФАБРИ ПЕРОАннотация Предлагаетс метод преобразовани информации из одной области оптического спектра в другую на базе микрорезонаторов Фабри -Перо, использующий излучение, падающее от какого-либо объекта, как воздействующее на материал микрорезонатора (который должен поглощать это излучение и видимое излучение оптической части спектра как зондирующее, или считывающее (поглощение этого излучени материалом микрорезонатора должно отсутствовать . Поглощенна энерги воздействующего излучени приводит к изменению температуры микрорезонатора, вследствие чего измен етс его оптическа база. Высока чувствительность микрорезонаторов Фабри -Перо обусловлена тем, что принцип их работы базируетс на физическом влении многолучевой интерференции. Общим недостатком эталонов Фабри -Перо вл етс их чувствительность к услови м работы, например к изменению температуры окружающей среды, что так же, как и вли ние ИК-излучени , приводит к изменению оптической базы резонатора. Это вызывает смещение спектральной характеристики коэффициента пропускани или отражени эталонов Фабри -Перо, что ухудшает их эксплуатационные характеристики. Метод позвол ет минимизировать вли ние температурных флуктуаций окружающей среды на характеристики микрорезонатора Фабри -Перо, влющегос элементом, преобразующим информацию из одной области спектра в другую. Минимизаци осуществлетс в случае, когда начальна температурна рабоча точка микрорезонатора соответствует максимуму величины изменени интенсивности зондирующего излучени от температуры.Ключевые слова инфракрасное излучение, многолучева интерференци , резонатор Фабри -Перо, матрица микрорезонаторов, термооптический преобразователь Для цитирования Преобразователь ИК-излучени на базе микрорезонаторов Фабри -Перо / В. А. Пилипович и др. // Вес. Нац. акад. навук Беларусi.

Uncooled infrared focal plane arrays

“…The SOI diode technology explained in Section 2.5 is a typical example. The thin‐film ferroelectric , bi‐material , and thermo‐optical IRFPAs are other examples of alternative technologies. Although they challenged the microbolometer's dominance and made considerable inroads, the microbolometer seems unthreatened and continues to hold the leading position in uncooled IRFPA technology.…”

Digital Thermal Microscope for Biomedical Application

“…The NETDfor Thermal Microscope According to the definition [6], NETD is formed as NETD / AT Fig.3. The photo ofthe digital thermal microscope (4) Where VIV. is the signal to noise ratio of the image, AT is the temperature difference between blackbody and background.…”

“…The path of ray ofthe micro thermal imaging If the operating wavelength of thermal microscope is in the range of[Al,4]…”

A holistic approach performance analysis of substrate-free focal plane array

“…Several groups have focused their research on uncooled infrared imaging devices with optical readout. [2][3][4][5][6] In the fabrication of such FPAs, they utilize sacrificial layer technology to process the bi-material sensors that are anchored onto the silicon substrate. The sensing unit is suspended over the substrate, typically at a distance of about 2 $ 3 lm.…”