Nettoyage de surfaces de grandes dimensions par laser à excimères

Abstract

Résumé : Cet article présente une étude effectuée sur le nettoyage par ablation laser UV de contaminants fixés à la surface de matériaux et sur le développement de systèmes laser permettant le traitement automatisé de grandes surfaces. Les conditions d'irradiation permettant la suppression des oxydes par ablation laser UV et garantissant l'innocuité du procédé ont été définies. Le dispositif de nettoyage est constitué d'un laser XeCl, d'un système de transport par fibres optiques, d'une buse d'aspiration et d'un système permettant le contrôle en temps réel de la qualité du nettoyage.