AgradecimentosMeus sinceros agradecimentos: Ao meu orientador Prof. Manfredo H. Tabacniks, por seus inúmeros ensinamentos, por me mostrar idéias e possibilidades, por instigar minha curiosidade e interesse pela Física e por sempre acreditar em mim;Ao meu amigo e conselheiro Marcel D. L. Barbosa, por me ensinar que, no laboratório e em outras circunstâncias, é possível alcançar um objetivo "por aproximações sucessivas";Aos professores Nemitala Added e Márcia de A. Rizzutto pelo acompanhamento, dicas e comentários enriquecedores desde a época da Iniciação Científica;Ao incomparável Marco A. P. Carmignotto pelo apoio em todas as etapas desse trabalho, e principalmente, por me ajudar a esclarecer grande parte das minhas dúvidas; À Adriana de O. Delgado, pelo pronto atendimento sempre que recorri em seu auxílio; À Universidade de São Paulo, ao Instituto de Física e à todos os funcionários que contribuíram para que esse trabalho ficasse melhor: Rita T. dos Santos (LQ-IF) e Ana Lucia M. Loureiro (LFA-IF), Simone P. de Toledo (LME-IF), Jorge de J. G. Leandro e Wanda G. P. Engel (LAN-IF), Adir J. Moreira (LSI-EPUSP), Marcel D. L. Barbosa, Marcos R. Antonio e Marcus Vinícios de S. Lima (LAMFI -IF); À empresa SurTec pela doação dos produtos químicos; Às agências de fomento CAPES e CNPq. Finalmente, agradecimentos especiais a Deus e à minha família: meu pai, por me ensinar a ser paciente e me estimular desde criança a fazer contas rápidas de cabeça; minha mãe, por me ensinar a agir com persistência e responsabilidade em todos os momentos; minhas irmãs, Alessandra e Angélica, pela amizade e companhia. i Resumo Nanoestruturas apresentam algumas propriedades que as diferem dos materiais em escalas maiores, o que abre uma série de possibilidades no campo de aplicação. Um ponto importante em nanotecnologia é o desenvolvimento de métodos adequados para a análise e caracterização de nanoestruturas. Este trabalho estuda o uso de Espectrometria por Retroespalhamento Rutherford (RBS) para a análise e caracterização de micro e nanoestruturas de Cu fabricadas utilizando membranas poliméricas Nuclepore R como moldes. As estruturas foram obtidas através do preenchimento dos poros dessas membranas com Cu por eletrodeposição, crescidas sobre um filme fino de Au com espessuras entre 5nm e 500nm depositado em um lado das membranas por Deposição Física em vácuo (PVD) e reforçado por um substrato espesso de Cu com cerca de 10µm, depositado sobre o filme de Au. Microscopia Eletrônica de Varredura (SEM) e Espectrometria de Retroespalhamento Rutherford (RBS) foram usadas para caracterizar as amostras. Analisando as amostras com micro e nanocilindros, a mudança do espectro RBS como uma função do ângulo de inclinação da amostra foi estudada usando a abordagem de Metzner et al (2007) generalizada para estruturas 3D em simulações numéricas. O diâmetro das micro e nanoestruturas variam entre 50 e 400nm, enquanto seus comprimentos variam entre 1 e 5µm. As análises por SEM forneceram o perfil morfológico local dessas estruturas e estimativas para suas di...