Miniature source of accelerated ions with focusing ion-optical system

Mikhailenko, M.S.; Pestov, A. E.; Чхало, Н. И.; Goncharov, L. A.; Chernyshev, A. K.; Zabrodin, I. G.; Kas’kov, I. A.; Krainov, P. V.; Astakhov, Dmitry; Medvedev, V. V.

doi:10.1016/j.nima.2021.165554

Cited by 2 publications

(2 citation statements)

References 24 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…PMC" [16] показали, что продолжительность формирования приведенного на рис. 2 асферического профиля источником ионов КЛАН-12М, описанным в [17] (ширина ионного пучка на полувысоте ∼ 2.5 mm и ток ионов 1 mA), составит более 1000 h.…”

Section: постановка задачиunclassified

“…Для решения задачи асферизации было предложено модернизировать технологический источник ускоренных ионов КЛАН-53М по примеру модернизации источника КЛАН-10М [17]. Предполагалось заменить плоскую ионно-оптическую систему, обеспечивающую квазипараллельный ионный пучок, вогнутой фокусирующей, что позволит получить сильноточный пучок ионов с малой шириной на полувысоте.…”

Section: модернизация источника ионов клан-53мunclassified

See 1 more Smart Citation

Внеосевой Асферический Коллектор Для Экстремальной Ультрафиолетовой Литографии И Мягкой Рентгеновской Микроскопии

Malyshev¹,

Михайленко²,

Pestov³

et al. 2023

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

By the method of ion-beam shape correction, a small-sized ion beam formed a non–axisymmetric aspherical profile of the collector surface for an extreme ultraviolet radiation source TEUS-S100 with a numerical aperture of NA= 0.25, PV on the surface is 36.3 microns, the surface shape accuracy by standard deviation is 0.074 microns, which allowed to obtain a focusing spot with a width of 300 microns at half-height. To solve the problem, the technological ion source KLAN-53M was upgraded – the flat ion-optical system was replaced with a focusing one. The ion-optical system consisting of a pair of concave grids with a radius of curvature of 60 mm provided the following parameters of the ion beam: the ion current is 20 mA, the width at half–height is 8.2 mm at a distance of 66 mm from the cutoff of the ion source.

show abstract

Section: постановка задачиunclassified

Section: модернизация источника ионов клан-53мunclassified

Внеосевой Асферический Коллектор Для Экстремальной Ультрафиолетовой Литографии И Мягкой Рентгеновской Микроскопии

Malyshev¹,

Михайленко²,

Pestov³

et al. 2023

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

Axisymmetric surface shape correction of optical elements by a wide-aperture ion beam

Chernyshev¹,

Чхало²,

Malyshev³

et al. 2022

Appl. Opt.

View full text Add to dashboard Cite

Methods for calculating the process of axisymmetric surface shape correction with a wide-aperture ion beam through a forming diaphragm for optical elements with a round and arbitrary border shape are presented. In the case of circular optical elements, an approach based on the separation of the axisymmetric component of the surface shape error from its decomposition by Zernike polynomials is used. In the case of optical elements with an arbitrary border shape (not round), an algorithm for searching the axisymmetric component of the shape error is proposed. The search criterion is to minimize the residual volume of the deviation of the surface shape from the calculated one. The proposed algorithm makes it possible to separate the axisymmetric component of the shape error relative to an arbitrary axis, including one located outside the workpiece. The results of surface treatment in accordance with the above methods are presented.

show abstract

Miniature source of accelerated ions with focusing ion-optical system

Cited by 2 publications

References 24 publications

Внеосевой Асферический Коллектор Для Экстремальной Ультрафиолетовой Литографии И Мягкой Рентгеновской Микроскопии

Внеосевой Асферический Коллектор Для Экстремальной Ультрафиолетовой Литографии И Мягкой Рентгеновской Микроскопии

Axisymmetric surface shape correction of optical elements by a wide-aperture ion beam

Contact Info

Product

Resources

About