“…38,95,[125][126][127] O processo de litografia, utilizado na maioria dos casos de microfabricação, está baseado na transferência de uma cópia de um padrão mestre, de um determinado material, para um substrato sólido. Um exemplo é a fabricação de microeletrodos cônicos a partir do desgaste de um substrato de Si, seguido pela deposição de filmes finos de SiO 2 , Pt e Si 3 N 4 .…”