Mems Tabanli Mi̇kro-Akişkan Çi̇pi̇n Zamana Bağli Basinç Anali̇zi̇

Abstract

Mikro elektromekanik sistemler (MEMS), ölçülen bir mekanik sinyalin makine tarafından okunabilir bir sinyale dönüştürülmesini sağlayan mekanik ve elektromekanik mikro ölçekte bileşenlerden oluşan bir teknolojidir. Geleneksel mekanik üretimin aksine, MEMS cihazının üretiminde, entegre bir devre ile uyumlu olan yüzey mikroişleme ve toplu mikroişleme süreçlerini içeren yarı iletken yöntemi kullanılır. Bu aygıtlar veya sistemler makro ölçekteki etkileri algılama, denetleme, etkinleştirme ve oluşturma yeteneğine sahiptir. Bu çalışmada, mikro litre ve daha küçük hacimlerdeki akışkanların mikro ölçekteki kanallar içerisinde kontrol edilmesini ve hareket etmesini sağlayan bir sistem olan mikro-akışkan çipin tasarımı 3B tasarım programı kullanılarak gerçekleştirilmiştir. Mikro-akışkan, tek kanal girişli ve dört kanal çıkışlı olacak biçimde tasarlanmıştır. Bu mikro-akışkanın ön fiziksel testleri, araştırılması ve zamana bağlı basınç analizleri COMSOL MultiPhysics programı ile yapılmıştır. Tasarımı gerçekleştirilen mikro-akışkan çipin t=0, 0.5, 1, 1.5 ve 2 s zaman değerlerine bağlı akış yönü ve basınç analizi yapılmıştır. Analiz sonucunda mikro-akışkan kanallarında zamana bağlı akış yönü ve basınç değerleri farklılık göstermiştir.