Membrantechnologien für Vakuumpumpen

Abstract

Membranvakuumpumpen haben sich im chemischen Labor wie auch als Vorpumpe für Hochvakuumsysteme durchgesetzt. Sowohl Flachmembrane als auch Formmembrane (und deren Ausbildung als Strukturmembran) werden verwendet. Langzeittests ergeben, daß sich der Enddruck von Formmembranpumpen nach einigen hundert Stunden durch Elastomerermüdung und ‐abrieb zunehmend verschlechtert. Auch der Saugvermögensverlauf dieses Membrantyps ist für praktische Anwendungen ungünstig. Flachmembranpumpen besitzen eine geeignetere Charakteristik und — bei entsprechender Fertigungsqualität — konstante Leistungsdaten über die gesamte Lebensdauer von über 10000 Stunden.