ResumoFilmes finos de gadolínio (Gd) foram depositados em substratos de silício (Si) via triodo magnetron sputtering (TMS) com corrente constante de 0,5 A em atmosfera de argônio sob pressão de 0,4 Pa sem uso de aquecimento externo. Diferentes condições de deposição foram aplicadas ao substrato: potencial flutuante (1,1 V), polarização negativa (-15, -30 e -50 V), polarização positiva (5, 10 e 15 V) e substrato aterrado. Uma deposição com magnetron sputtering convencional também foi realizada em potencial flutuante (-16 V). As espessuras, medidas por perfilometria, foram da ordem de 0,9 μm. A estrutura cristalina e a morfologia dos filmes foram estudados por difração de raios-X (DRX) com ângulo rasante e microscopia de força atômica (MFA), respectivamente. Observou-se que a polarização positiva leva a uma corrente maior comparada a aplicação de uma polarização negativa. As imagens de MFA mostram que as superfícies dos filmes têm "grãos" alongados sem diferença significativa entre as amostras de diferentes polarizações. Os espectros de DRX apresentaram as mesmas características para todos os filmes. Portanto, as diferentes polarizações não causam mudanças significativas na morfologia e cristalinidade dos filmes. Medidas das propriedades elétricas como resistividade, concentração de portadores, mobilidade eletrônica e magnetorresistência pela técnica de van der Pauw apresentaram resultados ligeiramente distintos para cada polarização. The film thicknesses, measured by profilometry, were close to 0.9 μm. The crystalline structure and morphology of the films were analyzed by grazing incidence X-ray diffraction (GIXRD) and atomic force microscopy (AFM). When positive bias is applied to the substrate, a higher current was measured than for negative bias. The AFM images show that the film surface has elongated "grains". No significant difference in morphology was observed for the different bias. The XRD spectra present the same characteristics for all samples. Thus, the results showed that the bias has no significant effect on the surface morphology and crystallinity of the films. Measurements of the electrical properties such as resistivity, carrier concentration, mobility electronics and magnetoresistance by the technique of van der Pauw presented slightly different results for each polarization.
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