1998
DOI: 10.1117/12.301528
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<title>Investigation of micro-opto-electro-mechanical components with a holographic microscopic interferometer</title>

Abstract: Holographic interferometry with three illumination directions can be applied to detennine all components ofa displacement vector wihtout previous knowledge of the main deformation direction. Combined with a microscopic arrangement this method is utilized for the investigation of the operating parameters of sensor micro-components. The interferometer is adapted to the microscopic demands by conjugate reconstruction. Matching holographic and microscopic requirements is the fimdamental assumption for correct oper… Show more

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“…이러한 방법은 약 30년 전 개념적 방법론이 제안되어, CCD 의 발전과 컴퓨터 연산 속도의 발전으로 수치적 3차원 영상 재생의 방법이 발전하여 현재 실용적 용도에 적용하기 위한 다수의 연구들이 세계적으로 활발히 진행되어 왔다 [1][2][3][4][5][6] . 디지털 홀로그램은 홀로그램 필름 대신에 CCD를 이용함으 로써 CCD에 입력된 정보는 홀로그래픽용 필름에 감광된 현 상과 일치하며 홀로그램의 일반 원리와 이론적으로 동일하다.…”
Section: 서 론unclassified
“…이러한 방법은 약 30년 전 개념적 방법론이 제안되어, CCD 의 발전과 컴퓨터 연산 속도의 발전으로 수치적 3차원 영상 재생의 방법이 발전하여 현재 실용적 용도에 적용하기 위한 다수의 연구들이 세계적으로 활발히 진행되어 왔다 [1][2][3][4][5][6] . 디지털 홀로그램은 홀로그램 필름 대신에 CCD를 이용함으 로써 CCD에 입력된 정보는 홀로그래픽용 필름에 감광된 현 상과 일치하며 홀로그램의 일반 원리와 이론적으로 동일하다.…”
Section: 서 론unclassified
“…이러한 방법은 약 30 여년 전 개념적 방법론이 제안되어, CCD의 발전과 컴퓨터 연산 속도의 발전으로 수치적 3차원 영상 재생의 방법이 발 전하여 현재 실용적 용도에 적용하기 위한 다수의 연구들이 세계적으로 활발히 진행되고 있다 [1][2][3][4][5][6] . 이와 같이 측정 대상 체의 3차원 데이터는 홀로그램 방법으로 기록함으로써 1회 촬영으로 측정 대상체의 3차원 데이터를 획득하고, 수치적 재생으로 측정 대상체의 3차원 데이터를 재구성하여 표시 할 수 있으므로 3차원 데이터 획득, 처리, 표시 면에 있어서 성능 향상을 기대할 수 있다 [7][8][9][10] .…”
Section: 서 론unclassified
“…속도의 발전으로 수치적 3차원 영상 재생의 방법이 발전하 여 현재 실용적 용도에 적용하기 위한 다수의 연구들이 세계 적으로 활발히 진행되고 있다 [1][2][3][4][5] . 이와 같이 측정 대상체의 3 차원 데이터는 홀로그램 방법으로 기록함으로써 1회 촬영으 로 측정 대상체의 3차원 데이터를 획득하고, 수치적 재생으 로 측정 대상체의 3차원 데이터를 재구성하여 표시 할 수 있 으므로 3차원 데이터 획득, 처리, 표시 면에 있어서 앞서 개 발되어온 첨단 현미경들에 비하여 비교할 수 없을 정도의 성 능 향상을 기대할 수 있다.…”
unclassified