L'auto-soudage des tranches de silicium

Abstract

On décrit une expérience dans laquelle des tranches de silicium de diamètre 10 cm ont été auto-soudées. Les interfaces ont été caractérisées au moyen de plusieurs tests différents : l'un destructif (mécanique), les autres non destructifs (optique, par imagerie dans l'infra-rouge, et acoustique) ; des diodes PN tests ont été réalisées, également dans le but d'obtenir une cartographie des décohésions. L'aire effectivement soudée est supérieure (ou au moins égale) à 80 % de la surface d'une tranche. On a étudié de manière quantitative les variations des dimensions des zones défectueuses en fonction de la température : on montre que les décohésions qui existent sur une même interface sont de deux types, selon que leurs dimensions augmentent ou, au contraire, diminuent lors d'un traitement thermique à 1 200 °C