Kryopumpen mit neuartiger Regenerationstechnologie

Abstract

Es wird eine neue, innovative Kryopump‐Technologie vorgestellt, mit der Kryopumpen innerhalb einer Stunde regeneriert werden können. Für den Anlagenbetreiber resultiert daraus im Vergleich mit der konventionellen Kryo‐pump‐Technologie ein deutlicher, geldwerter Vorteil: mehr Produktionszeit.