Konzepte und Entwurfsstrategien für integrierte Sensorsysteme

Abstract

Integrierte Sensorsysteme umfassen neben dem eigentlichen Sensor zunehmend auch lokale Intelligenz zur Signalverarbeitung und Kommunikation. Der Entwurf derartiger Systeme erfordert interdisziplinä re Kooperation unterschiedlicher Fachrichtungen. Dieser Beitrag stellt das Konzept integrierter Sensorsysteme vor, beleuchtet verschiedene Aspekte der Integration und zeigt anhand eines konkreten Beispiels aus der Strö mungsmesstechnik ihre praktische Umsetzung.Schlü sselwö rter: Sensorsystem; Smart Sensor; Strö mungssensor; Systemintegration; Dü nnschichttechnologie; Mikromechanik Concepts and design strategies for integrated sensor systems.Apart from the sensor front-end, integrated sensor systems comprise also local intelligent controllers allowing for signal processing and communication. The design of such systems requires multidisciplinary cooperation. This article presents the concept of integrated sensor systems, sheds light on various integration aspects and highlights their practical implementation by means of a concrete example from flow measurement.