The investigation of the element composition of TIC, layers depending on depth profiles shows that the samples stored on air are coated by a contamination layer of hydrocarbons. The subjacent layer consists of about 19 mole-% Ti, 26 mole-% C, 46 mole-% 0 and less than 6 mole-% of Cr and Fe. The change of the position of the Cls, 01s and Ti2plines depending on depth profiles allows us to draw conclusions from changes in the chemical bonding states of these elements. -A detailed profile analysis of the Cls-line shows five different bonding states of carbon (C,H,, Tic,, Fe,C, elemental C and )CO-compounds). The change of the 0and Ti-bonding states within the layer consists particularly in decreasing OH-bond as compared with oxide-bond and also of TiO, in comparison with Tic,. Die Untersuchung der Elementzusammensetzung der Tic,-Schichten in Abhiingigkeit v o m Tiefenprofil zeigt, da13 die an Luft gelagerten Proben von einer Kontaminationsschicht aus Kohlenwasserstoffen ubenogen sind. Die darunter liegende Schicht besteht zu etwa 19 mol-yo Ti, 26 mol-% C, 45 mob% 0, sowie Cr und Fe mit weniger ala 5 mol-%.Die Veranderung der Lage der Cls, 01s und Ti2p-Linien in Abhiingigkeit vom Tiefenprofil ergibt Ruckschlhe auf Anderungen der chemischen Bindungszuetande dieser Elemente. Eine Linienformanalyse des Cls-Peaks liiI3t funf verschiedene C-Bindungszustiinde erkennen ( CYHZ, Tic,, Fe,C, elementarer C, )CO-Verbindungen). Die Vertinderung der 0und Ti-Bindungszustiinde in der Schicht besteht insbesondere in der Abnahme der OHgegenuber den Oxidbindungszustiinden und einer Abnahme der Ti0,-Zustande gegenuber den Tic,-Zustiinden.