2010
DOI: 10.1002/vipr.201000416
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Ionengetterpumpen

Abstract: Ionengetterpumpen werden nicht nur durch ihr nominelles Saugvermögen charakterisiert. Sehr großen Einfluss auf das Pumpverhalten für verschiedene Gase haben die eingesetzten Pumpelemente. Heute hat der Anwender die Qual der Wahl, da es verschiedene Pumpelemente auf dem Markt gibt. Dieser Artikel soll dabei helfen, die passende Pumpe für die vorgesehene Applikation auszuwählen.

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