“…Kasnija istraživanja su ispitivala narušavanje strukture TiN slojeva različitim vrstama jona, različite energije i doze. Uočeno je da jonska implantacija kod TiN slojeva indukuje efekte kao što su promene u parametru rešetke [29], amorfizaciji [30], promene u stehiometriji [31], veličini zrna [32], što utiče na fizička i hemijska svojstva sloja. Urađena su brojna eksperimentalna istraživanja na tankim slojevima TiN koji su modifikovani jonskom implantacijom [33][34][35][36][37].…”