Influence of Mo interlayers on the microstructure of layers and reflective characteristics of Ru/Be multilayer mirrors

Abstract

The influence of Mo interlayers on the microstructure of films and boundaries, and the reflective characteristics of Ru/Be multilayer mirrors (MLM) were studied by X-ray reflectometry and diffractometry, and secondary ion mass spectrometry (SIMS). An increase in the reflection coefficients of MLM at a wavelength of 11.4 nm to record values of R = 72.2% and FWHM to Δλ1/2 = 0.38 nm is shown. The effect of interlayers on the structural and reflective characteristics of MLM is explained by the barrier properties of the Mo layers, which prevent the mutual mixing of the Ru and Be layers, which leads to the formation of beryllides and a decrease in the X-ray optical contrast at the boundaries.

Multifitting 2: software for reflectometric, off-specular and grazing-incidence small-angle scattering analysis of multilayer nanofilms

“…Examples of the use of Multifitting can be seen in prior work (Chkhalo et al, 2017;Svechnikov et al, 2017Svechnikov et al, , 2018Barysheva et al, 2019;Smertin et al, 2022;Polkovnikov et al, 2022;Pleshkov et al, 2021;Svechnikov et al, 2020;Chkhalo et al, 2022).…”

Изучение Угловых Зависимостей Скоростей Ионно-Пучкового Распыления Металлов Для Синтеза Заготовок Фотошаблонов

“…В качестве одной из перспективных длин волн рассматривается область в окрестности 11.2 nm, где имеются интенсивные линии излучения Xe плазмы и возможность синтеза Ru/Be многослойных рентгеновских зеркал нормального падения, которые теоретически имеют наиболее высокие пиковые коэффициенты отражения [4]. Более того, в работе [5] показана возможность синтеза зеркал Ru/Be c рекордными коэффициентами отражения и спектральной шириной в окрестности длины волны 11.4 nm до R = 72.2% и λ 1/2 = 0.38 nm соответственно.…”