Influence of Conditions of Growth on Structural Perfection of Layers of Aln Received by Method Mos-Gidridnoy of an Epitaxy

Evolution of Models and Algorithms for Parameter Calculation in Micro– And Nanoelectronics Materials Technology

“…Для подготовки студентов к проведению ком-пьютерного моделирования технологических про-цессов получения материалов микро− и наноэлек-троники авторами подготовлены и изданы учебные пособия, монографии и учебники [11][12][13][14][15][16][17][18]. Рассмотрим краткое содержание этих изданий.…”