Abstract:ResumoNeste trabalho, é apresentado o desenvolvimento de um novo equipamento para fabricação de filmes finos orgânicos, baseado na tecnologia automotiva de injeção eletrônica. Tal sistema apresenta, dentre as vantagens de disponibilidade comercial e baixo custo, baixas taxas de corrosão química e de problemas de entupimento dos bicos injetores, bem como o controle de taxas de temperatura de deposição. Portanto, apresenta versatilidade para utilização de diversas soluções orgânicas usadas em microeletrônica e e… Show more
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