“…Поскольку для изготовления антенны требуется высокое сопротивление фотопроводящего материала, а в InGaAs оно изначально ниже, чем в LT-GaAs, полупроводник эпитаксиально выращивают при низкой температуре и легируют бе-риллием [5] или эрбием [8], применяют ионную им-плантацию [9,10], а также используют сверхрешеточ-ные структуры на основе последовательности слоев In 0.53 Ga 0.47 As/In 0.52 Al 0.48 As с вкраплением островков ErAs [11] и легированного бериллием In 0.53 Ga 0.47 As [12]. ФА на основе LT-GaAs может иметь довольно широкий спектр ТГц излучения вплоть до 5.0 ТГц с максиму-мом генерации излучения в области 1.0 ТГц [13,14], в то время как ФА на основе InGaAs, легированного бериллием, показывают более интенсивную генерацию ТГц излучения, особенно при оптической накачке дву-мя лазерами с близкими частотами [6,15]. Например, в [7] было показано, что ФА на основе решеточно-согласованной структуры, состоящей из нескольких пе-риодов сверхрешетки In 0.53 Ga 0.47 As/In 0.52 Al 0.48 As, имеет высокую эффективность оптико-терагерцовой конвер-сии, а сама структура позволяет получить малое время жизни неравновесных носителей заряда без применения легирования бериллием.…”