Hartmannometer versus Fizeau Interferometer: advantages and drawbacks

Abstract

In this paper we consider two approaches widely used in optical testing: Shack-Hartmann wavefront sensor and Fizeau interferometer technique. Fizeau interferometer that is widely used in optical testing can be easily transformed to a device using Shack-Hartmann wavefront sensor, the alternative technique to check optical components. We call this device Hartmannometer, and compare its features to those of Fizeau interferometer.

High-precision method for control of curvature radii of optical surfaces

“…Наи-более широко применяются интерферометры с совмещенными осветительной и измеритель-ной ветвями, построенные по оптической схеме Физо [1,2]. Такая конструктивная особен-ность позволяет устранить в процессе измерения фазовые искажения волновых фронтов, обу-словленные погрешностью изготовления и сборки оптического тракта ветвей интерферомет-ра, минимизируя при этом систематическую погрешность.…”

“…Высокоточный контроль профилей поверхностей (их радиусов кривизны) оптических зеркал, в том числе зеркал астрономических телескопов наземного и космического базирова-ния, является одной из важнейших метрологических задач оптического производства, для реализации которой широко используют современные интерференционные методы [1]. Наи-более широко применяются интерферометры с совмещенными осветительной и измеритель-ной ветвями, построенные по оптической схеме Физо [1,2].…”

“…Погрешность измерения параметров форм волновых фронтов с помощью оптико-электронного прибора на основе ДВФ составляет ~100  в широком динамическом диапазо-не. Важно отметить, что указанные точностные характеристики прибора на основе ДВФ при-водятся разработчиками в пределах значительного динамического диапазона контролируе-мых радиусов кривизны, при корректной записи опорного волнового фронта, обусловленной высокоточными методами калибровки ДВФ [1,2].…”

“…Представленные проектные характеристики функциональных схем прибора наиболее перспективны для высокоточного контроля радиусов кривизны и параметров форм оптиче-ских зеркал в широком динамическом диапазоне измерений [1,2]. В работе предлагается ме-тодика контроля радиусов кривизны сферических оптических зеркал.…”

“…Методика, основанная на измерении радиуса кривизны волнового фронта, отраженного от контролируемого зеркала, с помощью ДВФ, в заданном динамическом диапазоне, после калибровки датчика [1] …”