Gasströmungen im Vakuum

Untitled

“…Mikro-Piranis) [1,2] wurden in ju Èngster Zeit auch mikrostrukturierte Kapazita Èts-und Gasreibungsvakuummeter [3][4][5][6] [20] und REDHEAD [21] konnten zeigen, dass eine solche sog. Dabei wurden zahlreiche bekannte Messprinzipien in den verschiedensten mikrostrukturierten Druckwandlern erfolgreich umgesetzt.…”