Formation of thin foil of the ordered Pd-Cu solid solution with a CsCl-type lattice during magnetron sputtering

Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al-=SUB=-1-x-=/SUB=-Si-=SUB=-x-=/SUB=- при магнетронном и ионно-лучевом напылении

“…Подобный результат был достигнут в работе [12], ав-торы которой в процессе магнетронного распыления ми-шени соответствующего состава получили однофазный конденсат упорядоченного твердого раствора Pd 0.5 Cu 0.5 c примитивной кубической кристаллической решеткой типа CsCl (β-фаза).…”

“…По оценкам авторов работы [12] температура ненагре-ваемой подложки в процессе роста может повышаться от исходной (около 300 K) на 50−100 K вследствие высокой энергии конденсируемых атомов и воздействия компонентов плазмы. Для того, чтобы проверить стабильность фазы Al 3 Si и возможность формирования в таком пленочном конден-сате нанокристаллов кремния, пленочные образцы, полу-ченные ионно-лучевым напылением, были подвергнуты импульсному фотонному отжигу дозами в интервале от 145 до 215 J/cm 2 .…”