“…对 CsI 光阴极提出了越来越高的要求。多个研究小 组探索发展了 CsI 薄膜光阴极的制备方法, 研究了 薄膜结构、表面状态、基底结构等因素对 QE 的影 响, 并对光阴极老化机制和防护方法进行了探讨。 然而, 众多研究者 [6][7][8][9][10][11][12][13] [3,[14][15] 。Schyns [16] 及 Xie [6,17] 等的研究表明, 这两 种方法制备的 CsI 光阴极 QE 相差不大, 但电子束蒸 发法制备的薄膜颗粒较小、结构更致密, 在空气中 具有较好的稳定性。近年来, 人们探索了离子束溅 射法和激光等离子体沉积法等方法。2005 年, Nitti 等 [18][19] 首次采用离子束溅射法在抛光石英基底上制 备了 100 nm 的 CsI 光阴极, 导电层为 Ti/Au, 采用不 同溅射能量得到的薄膜表面 Cs/I 元素比例不同, 相 比于真空热蒸发法, 得到的薄膜更致密、粗糙度更 小, 但 QE 值却相对较低, 他们将原因归因于表面 发射面积的降低。2011 年, Fairchild 等 [20] 采用激光 脉冲沉积法(PLD)在 Si 基底上制备了 CsI 薄膜, 薄膜 中存在 Cs 2 O 及 CsIO 3 等杂相。 2012 年, Brendel 等 [21] 采用 PLD 法制备了 CsI 光阴极, QE 值与热蒸发法相 近, 采用激光束扫描发现, PLD 法制备的光阴极光电 发射均匀性变化在 20%以内, 而热蒸发法制备的 CsI 薄膜变化达到了 100%, 另外, 与基底的附着力以及 在空气中的稳定性都要优于热蒸发法, 他们指出 [7,22] 并未发现 真空度的提高对 QE 有明显的影响, 但 Hoedlmoser 等 [23] 认为, 真空系统中(真空度大于 10 -5 Pa)残余水分 [24] 和 Tremsin [7] 等指出环境清洁度及 CsI 源纯度的不同可 能是一些研究者得到不同甚至矛盾实验结果的原 因。Friese 等 [25] 的研究结果表明, 不充分清洁的基 底可能会使 QE 下降 30%。…”