В работе продемонстрирована высокая эффективность использования Раман спектрометра при проведении комплексных исследований в составе аналитического оборудования. На примере анализа спектров КР образцов карбида кремния, по наличию спектральных полос 194, 777 и 827 см−1, определена принадлежность образца монокристаллического карбида кремния к 4Н политипу. Спектры КР образцов селенида кадмия использовали для контроля за аморфной и кристаллической фазами в пленках селенида кадмия. Отжиг образца селенида кадмия при температуре 800°С приводит к значительному уменьшению интенсивности спектральной полосы, соответствующей аморфной составляющей. Характерные изменения, происходящие в монокристаллическом кремнии в процессе имплантации бора с разной концентрацией, исследованы также методом спектроскопии КР. Детально рассмотрены уширения и смещения пика по частоте, свидетельствующие о возникновении напряжений, деформаций и дефектов в кристаллической решетке, являющихся результатом процесса ионной имплантации бора.