“…Ионы, тормозящиеся в мишени, сталкиваются с атомами в решетке, что приводит к " выбиванию" их из регулярных положений, и образуются так называемые каскады смещений (или каскады столкновений, collision cascade), состоящие из вакансий и межузельных атомов. Экспериментально показано, что плотность каскадов смещений существенным образом влияет на результирующие радиационные повреждения в Si [9][10][11], SiC [12], ZnO [13], GaN [14,15], металлах [16], полимерах [17] и т. д. В частности, было обнаружено усиление образования дефектов в β-Ga 2 O 3 [18]. Также известно, что эффекты, связанные с плотностью каскадов, удобно изучать, проводя сравнение накопления повреждений при облучении атомарными и молекулярными ионами [9,[12][13][14]17,19].…”