Abstract:RESUME:Pour resoudre le phenomene de gonflement qui limite la resolution des rtsines microlithographiques classiques, nous nous sommes intCressCs a de nouvelles rCsines avec lesquelles ce phCnomtne n'apparait pas. Nous avons retenu pour notre Ctude les resines R qui renferment en mClange un polymere porteur de radicaux tCtrathiafulvalCnylcarbonyloxymtthyles et le dibromotCtrachloroCthane. Afin de voir l'influence de la nature du radical porteur de l'unite tetrathiafulvalene dans le polymtre sur les propriCtCs … Show more
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