Estudo De Propriedades Ópticas De Filme Fino De Óxido Anódico De Titânio Por Elipsometria

Abstract

Resumo Neste presente estudo foi utilizada a técnica de elipsometria espectroscópica a fim de se caracterizar as propriedades ópticas do filme fino de óxido anódico de Titânio formado espontaneamente. As propriedades desse óxido são relevantes consideradas as diversas aplicações do titânio, dentre as quais as biológicas. A elipsometria é uma técnica não destrutiva, porém indireta, apropriada para obtenção de propriedades ópticas e dielétricas, após modelagem. Usando essa técnica, obtivemos além das propriedades ópticas, a espessura do óxido formado de forma natural sobre o substrato de Titânio. Palavras-chave: Titânio; Óxido de titânio; Elipsometria STUDY OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE THIN FILM OF TITANIUM ANODIC OXIDE BY ELLIPSOMETRY Abstract In this present study, the spectroscopic ellipsometry technique was used in order to characterize the optical properties of the spontaneous titanium anodic oxide thin film. The properties of this oxide are relevant considering the various applications of titanium, among which the biological ones. Ellipsometry is a non-destructive, but indirect, technique suitable for obtaining optical and dielectric properties, after modeling. Using this technique, we obtained besides the optical properties, the thickness of the oxide formed of natural form on the substrate of Titanium.