Текстура поверхности диагностических зеркал в токамаках влияет на их оптические характеристики. Поэтому исследование раз-ных проявлений поверхностной текстуры актуально. В то же время угловые распределения распылённых атомов важны для расчё-та загрязнения первого зеркала для оптических диагностик за счёт переосаждения продуктов эрозии. В работе исследовано влия-ние текстуры поверхностного слоя поликристаллических мишеней Mo и W на угловые распределения атомов при распылении в малоразмерном планарном DC-магнетроне ионами Ar + с энергией 200-300 эВ. Текстура формировалась при прокатке металличе-ских фольг и в процессе изготовления протяжённых прутков из слитков и контролировалась с помощью рентгеноструктурного анализа. Обнаружена анизотропия углового распределения атомов, распыляемых из фольг: в плоскости, перпендикулярной про-катке, наблюдается максимум при θ = 0 (нормаль к распыляемой поверхности); в плоскости, параллельной направлению прокатки, имеются максимумы при θ = 0 (Mo, W), 57º (Mo) и 60º (W). В случае распыления образцов, изготовленных из прутков, азимуталь-ной анизотропии не обнаружено, однако полярное распределение имеет максимум при θ = 37º (Mo) и 45º (W) в отличие от поли-кристаллов Mo и W с хаотическим распределением зёрен, для которых максимальный выход распыления наблюдается при θ = 0. Компьютерное моделирование, проведённое с учётом вклада кристаллитов, выявленных при рентгеноструктурном анализе, пока-зало хорошее качественное соответствие расчётных и экспериментальных угловых распределений распылённых атомов. Отмечено, что угловое распределение распылённых атомов может быть использовано для определения текстуры поверхности.Ключевые слова: распыление, угловое распределение, поликристаллы, текстура, магнетрон.ANGLE DISTRIBUTION OF ATOMS SPUTTERED FROM TEXTURED Mo AND W POLICRYSTALS. A.V. ROGOV, Yu.V. MARTYNENKO, N.E. BELOVA, V.I. SHULGA. Surface texture of diagnostic mirrors in tokamak s effects on mirrors optical characteristics. Therefore investigation of various texture manife stations is an actual problem. The same time angular distribution of sputtered atoms is important for calculation of first diagnostic mirror contamination due t o erosion products deposition. In the work the effects of W and Mo surface crystalline texture on the angular distribution of sputtered atoms was investigated at sputtering in small size DC-magnetron by 200-300 eV Ar + ions. Crystalline texture was formed under rolling of metal foils and during preparation of metal bars and was controlled by X-ray diffraction analysis. A strong anisotropy of the angular distribution was found for foils: in the planes oriented perpendicularly to the direction of rolling the angular distribution was peaked at the polar angle θ = 0, while in the direction parallel to the rolling the angular distribution has maxima at θ = 0 (Mo, W), 57º (Mo) and 60º (W). For bars, no azimuthal anisotropy was observed but the angular distribution was peaked at θ = 37º (Mo) and θ = 45º (W) in contrast to the case of Mo and W polycrystals with random gr...