При распылении поверхности ниобия пучками ионов Xe+ в атмосфере кислорода изучены масс-распределения и мономолекулярные распады эмиттированных кластеров NbnOm− по всем стехиометрически возможным направлениям фрагментации. Исследование процессов фрагментации селектированных распыленных кластеров NbnOm− свидетельствует, что NbO2, NbO3 и Nb2O5, наряду с О и О2, являются наиболее вероятными нейтральными фрагментами при распадах и могут рассматриваться как строительные блоки кластеров NbnOm−. Показано, что образование и мономолекулярная фрагментация кластеров NbnOm− описываются в рамках статистического комбинатор-ного механизма рекомбинации, но с учётом сильной неравновесности процесса.