Electrons on a straight path: A novel ionisation vacuum gauge suitable as reference standard

Jousten, Karl; Bernien, Matthias; Boineau, Frédéric; Bundaleski, Nenad; Illgen, Claus; Jenninger, B.; Jönsson, Gustav; Šetina, Janez; Teodoro, O.M.N.D.; Vičar, Martin

doi:10.1016/j.vacuum.2021.110239

Cited by 13 publications

(14 citation statements)

References 9 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…To overcome this situation, the European project 16NRM05 developed an ionisation vacuum gauge [13][14][15], where the relative gas sensitive factors are well known. This gauge had to be developed to be transport stable in order not to lose any calibration information.…”

Section: Outgassing Rate Measurementsmentioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

ISO standards for vacuum metrology

Jousten

2024

Proceedings of the 7th IMEKO TC16 Conference on Pressure and Vacuum Measurement

View full text Add to dashboard Cite

During the last decade, several important standards and technical specifications (TS) for vacuum metrology have been published by the International Organisation for Standardisation (ISO) or are under development. The pressure ranges for high and ultrahigh vacuum have been redefined, and extreme high vacuum has been defined internationally for the first time. Basic standards describing vacuum gauge calibration equipment and methods, as well as the uncertainties associated with a calibration, are supplemented by specific standards for characterising or calibrating specific vacuum gauges. Procedures have also been developed for the characterisation of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement and for the measurement of outgassing rates in a traceable and comparable manner. A TS for the design of a high-precision ionisation vacuum gauge has recently been published. Reliable vacuum measurement is also important for characterising the performance of vacuum pumps.

show abstract

Section: Outgassing Rate Measurementsmentioning

confidence: 99%

“…The success of this development let ISO TC 112 standardise this ionisation vacuum gauge in ISO TS 6737, which was published in November 2023. This gauge can be produced by any experienced manufacturer and will show the same characteristics independent of the producer [14].…”

Section: Outgassing Rate Measurementsmentioning

confidence: 99%

ISO standards for vacuum metrology

Jousten

2024

Proceedings of the 7th IMEKO TC16 Conference on Pressure and Vacuum Measurement

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Anders als bei herkömmlichen Vakuummetern mit undefinierten Elektronenbahnen werden in dem neu entwickelten Ionisationsvakuummeter [3], [4]…”

Section: Aufbau Des Neuen Ionisationsvakuummetersunclassified

“…Die Langzeitstabilität ("reproducibility") wurde untersucht, indem die Vakuummeterkonstante für Stickstoff vor und nach folgenden Experimenten gemessen wurde [4]: Belüften, Ausheizen, "Leerlauf" bei Restdruck, Einwirkung von Sauerstoff, Kohlenmonoxid und Kohlendioxid, Austausch der Kathode. Alle diese Einwirkungen änderten die Vakuummeterkonstante um weniger als 1 %, der Austausch der Kathode beispielsweise nur um 0,34 %.…”

Section: Ergebnisse Und Messungenunclassified

See 1 more Smart Citation

Ein neues hochgenaues und zuverlässiges Ionisationsvakuummeter

Jousten

2023

Vak Forsch Prax

View full text Add to dashboard Cite

ZusammenfassungEin neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Lösung für die bisher unzureichende Stabilität kommerziell erhältlicher Geräte und ermöglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Führung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermöglicht. Das neue Hochvakuum‐messgerät ist für Anwendungen als Referenzmessgerät und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerät eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl für Hersteller wie für Anwender auch kommerziell interessant.

show abstract