The change in dislocation distribution of KCI single crystals during thermal cyclic annealing was studied by etch pit method. The results obtained are summarized as follows.(1) I n contrast to the case in Cu (KITAJIMA e t al.; HASEQAWA e t al.), the dislocation distribution in KC1 crystals became non-uniform with an increase in the cyclic annealing time, i.e., in the region near the surface, many sub-boundaries were formed, but in the interior, the density of dislocations and sub-boundaries decreased. The cyclic annealing is more effective in reducing the dislocation density than the isothermal annealing.(2) The longer the period of thermal cycle, the more effective in reducing the dislocation density.(3) The larger the temperature difference between the maximum and minimum during one cycle, the more effective in reducing the dislocation density.(4) In the Sr-doped crystals, the thermal cyclic annealing was also effective in reducing the dislocation density within subgrains but sub-boundary length per unit area slightly increased by the cyclic annealing.(5) When the samples werc annealed under the atmosphere of Cl,, the dislocation density remarkably increased against our expectation, although the scattering centres had disappeared by this treatment.Die Bnderung in der Versetzungsverteilung von KC1-Einkristallen wahrend einer zyklischen Temperung wurde mit Hilfe der Atzmethode untersucht.(1) Im Gegensatz zu CLI (KTTAJIMA e t al.; HASECAWA e t al.) wurde die Versetzangsverteilung in KC1-Einkristallen ungleichforrnig mit der Dauer der zyklischen Temparung. Viele Subgrenzen bildeten sich nahe der Oberfliiche, aber in1 Innern nahm die Versetzungsdichte und Subgrenzendichte ab. Die zyklische Temperung bewirkte eine Verringerung der Versetzungsdichte im Gegensatz zur isothermen Behandlung.(2) J e langei-die Dauer des Zyklus, desto wirksanier wird die Verringerung der Versetzungsdichte beeinfluBt.(3) J e groBer der Temperaturunterschied zwischen dein Maximum und den1 Minimum wahrend eines Zyklus, desto wirksanier erfolgt die Verringerung der Versetzungsdichte.(4) I n Sr-dotierten Kristallen beeinflul3te das zyklische Tempern ebenfalls merklich die Verringerung der Versetzungsdichte innerhalb der Subkorner, aber die Subgrenzenlange pro Flacheneinheit nahni etwas zu.(5) Wenn die Probe im Cl,-Gas zyklisch getempert wurde, wuchs die Versetzungsdichte auBerordentlich entgegen unserer Erwartung, obwohl die Streuzentren durch die Behandlung verschwunden waren.