Effect of the Amplitude of Vibrations on the Pull-in Instability of Double-Sided Actuated Microswitch Resonators

Abstract

Представлены результаты исследования влияния амплитуды колебаний на процесс втягивания двустороннего микропереключателя и вычисления его собственных частот с использованием нелинейной частотно-амплитудной характеристики системы. Уравнение колебаний микропереключателя, предварительно деформированного электрическим полем, содержит нелинейные члены до пятого порядка включительно. Исследование выполнено новым аналитическим методом, основанным на использовании гамильтониана. Показано, что для получения приемлемого решения достаточно использовать первый член разложения решения в ряд. Достоверность результатов, полученных асимптотическим методом, подтверждена путем сравнения их с результатами численного решения.Ключевые слова: гамильтониан, частотно-амплитудная характеристика, колебания микробалки, двусторонний переключатель, неустойчивость процесса втягивания.