Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium films

Ионно-Пучковые Методики Прецизионной Обработки Оптических Поверхностей

“…Для металлических образцов на скорость распыления на начальной стадии существенное влияние оказывает наличие окисленного слоя, а шероховатость поверхности на уровне σ eff ∼ 0.3 nm сохраняется при углах падения θ in = 0−30 • и минимальных энергиях ионов (E ion = 200−300 eV) [26]. В работе [27] проведено исследование возможностей ионно-пучковой обработки поверхности образцов из массивного бериллия, покрытых аморфной пленкой никеля. Показана возможность проведения глубокого травления (глубина до 250 nm) без деградации исходной шероховатости, что может быть востребовано для асферизации.…”

Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar

“…Однако методика хорошо работает только для подложек из аморфных материалов и в редких случаях в очень узком диапазоне параметров процесса, для монокристаллических материалов [12,16]. Так как в нашем случае образцы были покрыты металлом, то мы использовали подход, предложенный в [17], хорошо зарекомендовавший себя при ионной полировке бериллиевых подложек. Суть подхода заключается в том, что на поверхность методом магнетронного распыления наносился 200 nm слой аморфного кремния, и ионная полировка уже велась по данному слою.…”

Бериллий Как Материал Для Термостойких Рентгеновских Зеркал

“…Во-вторых, эффективная шероховатость все же в 3−4 раза хуже требуемой для рентгенооптических приложений. В работе [22] мы нашли прием, позволивший нам существенно до ангстремного уровня улучшить шероховатость металлических пленок с помощью ионнопучкового травления. Рис.…”