Effect of damping parameters on dynamic behavior of program controllable drives of coordinate systems with belt drive: Part 1

Basinyuk, V. L.; Mardosevich, E. I.; Papina, S. S.; Lomako, V. G.

doi:10.3103/s1068366613050024

Cited by 1 publication

(1 citation statement)

References 0 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…При разработке модели движения стола в процессе его разгона с используемым в установке М-2085 постоянным ускорением а до рабочей скорости подачи были принятые следующие допущения [1,2]: трением в сопряжениях шкива с зубчатым ремнем и в подшипниковых узлах шкива можно пренебречь; коэффициенты вязкоупругого трения в механической системе и безразмерные коэффициенты затухания колебаний постоянны; усилия сопротивления движению стола постоянны. Процесс разгона стола до рабочей скорости подачи может быть разделен на два периода.…”

unclassified

Dynamics of Transition Processes in Drive Mechanism With Flexible Communication at Wafer Separation by a Diamond Wheel

Basiniuk¹

2018

Vescì Akademìì navuk Belarusì. Seryâ fizika-tehničnyh navuk

View full text Add to dashboard Cite

возможности увеличения скорости резания при одновременном повышении точности координатных перемещений и снижения динамических нагрузок в начальный, наиболее опасный с позиции возникновения сколов и поломок, момент взаимодействия алмазного круга толщиной 15-120 мкм с полупроводниковой пластиной толщиной 250-500 мкм и диаметром 50-250 мм при ее разделении на кристаллы. При резании стол с полупроводниковой пластиной совершает возвратно-поступательные координатные циклические перемещения. В процессе его разгона до рабочей скорости подачи возникают механические колебания в направлении движения, имеющие частоту собственных колебаний. Эти колебания могут приводить к отклонению стола от заданной координаты и возникновению существенно отличных от прогнозируемых величин ускорений при достижении рабочей скорости подачи и последующем контакте пластины с алмазным кругом. Это может быть учтено при реализации технологического цикла, и в ряде случаев колебаниями можно программно управлять путем выбора рационального соотношения величин рабочего хода, длины холостого хода и частоты собственных колебаний, что позволяет уменьшить или исключить сколы и поломки полупроводниковой пластины и алмазного круга, уменьшить их толщины и повысить в 1,5-2 раза скорость обработки. Показаны возможности создания комбинированной системы приводов, использование которой позволяет исключить возникновение механических колебаний. Ключевые слова: динамика, колебания, комбинированная система приводов, кристаллы, полупроводниковая пластина, точное электронное машиностроение Для цитирования. Басинюк, В. Л. Динамика переходных процессов в приводах с гибкой связью при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы алмазным кругом / В. Л. Басинюк // Вес. Нац. акад. навук Беларусі. Сер. фіз.-тэхн. навук.-2018.-Т. 63, № 1.-С. 68-75.

show abstract

unclassified

Dynamics of Transition Processes in Drive Mechanism With Flexible Communication at Wafer Separation by a Diamond Wheel

Basiniuk¹

2018

Vescì Akademìì navuk Belarusì. Seryâ fizika-tehničnyh navuk

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

Effect of damping parameters on dynamic behavior of program controllable drives of coordinate systems with belt drive: Part 1

Cited by 1 publication

References 0 publications

Dynamics of Transition Processes in Drive Mechanism With Flexible Communication at Wafer Separation by a Diamond Wheel

Dynamics of Transition Processes in Drive Mechanism With Flexible Communication at Wafer Separation by a Diamond Wheel

Contact Info

Product

Resources

About