1999
DOI: 10.1002/(sici)1521-396x(199907)174:1<301::aid-pssa301>3.0.co;2-g
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Dielectric Properties of Tungsten Oxide Thin Film Prepared by Spray Pyrolysis

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
2

Citation Types

0
4
0
2

Year Published

2006
2006
2023
2023

Publication Types

Select...
8

Relationship

0
8

Authors

Journals

citations
Cited by 12 publications
(6 citation statements)
references
References 23 publications
(16 reference statements)
0
4
0
2
Order By: Relevance
“…It was recently shown that doping of Ga 2 O 3 thin films with W lead to a significant decrease in the materials dielectric constant (k). 10 In this prior study a k of 1.5 was obtained for dense Ga 2Àx W x/2 O 3Àd thin films, which is significantly lower than that obtained for either undoped Ga 2 O 3 (k = 10) 11 or WO 3 (k 4 10) 12,13 thin films. These results were of interest since low-k dielectrics typically require incorporation of significant porosity to materials already having relatively low-k, such as silicates and organosilanes.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 74%
“…It was recently shown that doping of Ga 2 O 3 thin films with W lead to a significant decrease in the materials dielectric constant (k). 10 In this prior study a k of 1.5 was obtained for dense Ga 2Àx W x/2 O 3Àd thin films, which is significantly lower than that obtained for either undoped Ga 2 O 3 (k = 10) 11 or WO 3 (k 4 10) 12,13 thin films. These results were of interest since low-k dielectrics typically require incorporation of significant porosity to materials already having relatively low-k, such as silicates and organosilanes.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 74%
“…Also, this is may be attributed to the increased mobility of polar groups and increase in the number of mobile dipoles at this frequency [27]. Also, after the maximum peak at ≈ 3.5 MHz the (ε") was decreased again due to the low distributed of the orientational dipole due to the decreasing in the crosslinkage [22].…”
Section: Dielectric Lossmentioning
confidence: 87%
“…This increase may be attributed to the orientation of the dipoles which formed from the charge carriers. The increase in temperature increases the ability of dipoles to align along the applied field [21] and thereby increasing the effective length of dipole which, in turn, should cause increasing the capacitance [22] and hence increase the dielectric constant.…”
Section: Dielectric Constantmentioning
confidence: 99%
“…Диэлектрические свойства оксида вольфрама исследовались в нескольких работах [13,[16][17][18], при этом изучались как тонкие пленки в разном фазовом состоянии (поликристаллические [16], аморфные [18]), так и керамические образцы, спрессованные из порошка WO 3 и затем отожженные [13,17]. Данные исследования позволили выявить характер изменения таких характеристик, как диэлектрическая проницаемость, диэлектрические потери и тангенс угла диэлектрических потерь, проводимость на переменном токе и соответственно энергия активации проводимости в широком интервале частот и температур.…”
Section: Introductionunclassified
“…Анализ результатов, полученных в вышеуказанных работах, показал, что фазовое состояние и способ приготовления образцов оказывают самое существенное влияние не только на абсолютные значения диэлектрических параметров, но даже на само их поведение. Например, авторы работы [16] установили, что диэлектрическая проницаемость ε ′ с ростом температуры уменьшается для тонких пленок WO 3 , а в работе [17] тот же параметр с ростом температуры увеличивается для массивного оксида вольфрама, при этом абсолютные значения также сильно различаются, соответственно 350 (при угловой частоте ω = 1 кГц) и 1.2 • 10 5 (ω = 2 кГц). Влияние физико-химических параметров образцов WO 3 на диэлектрические свойства является малоизученным.…”
Section: Introductionunclassified