Urn den wachsenden Anforderungen hinsichtlich Festigkeit, Temperatur-und Korrosionsbestandigkeit zu genugen, werden die modernen Werkstoffe zunehmend als "high tech" Produkte mit einer komplizierten Mikrostruktur konzipiert. Dies setzt eine effektive Kontrolle der Mikrostruktur mittels mikrostruktureller und rnikroanalytischer Verfahren voraus.In diesem Bericht wird eine Einfuhrung in die gegenwartig in der Werkstoff-Forschung eingesetzten mikrostrukturellen und mikroanalytischen Verfahren gegeben. Da die GroBe der maBgebenden Strukturelemente der Werkstoffe in einem weiten Bereich von einigen hundert Mikrometern bis zu atomaren Abmessungen variiert, ist die Ortsauflosung ein wesentliches Kriterium fur die Werkstoffuntersuchung.Die mikrostrukturellen und mikroanalytischen Verfahren werden vornehmlich unter dem Gesichtspunkt der Energieauflosung, der quantitativen Analyse und der Ortsauflosung diskutiert. Naher behandelt werden die analytische Transmissions-Elektronen-Mikroskopie (ATEM), die energiedispersive Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EDX), die Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) und die Rontgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS).Am Beispiel der Metallmatrix-Keramikfaser-Verbundwerkstoffe (MMC) wird gezeigt, daB die heute von den mikrostrukturellen und mikroanalytischen Verfahren gelieferten Informationen hinreichend die Mikrostruktur charakterisieren, fur eine erfolgreiche Werkstoffentwicklung aber auch notwendig sind.