本論文では,ミリ長ストロークを低電力で達成する熱駆動切り紙 MEMS アクチュエータを提案す る.紙を切って折るだけで立体構造を造形する切り紙のコンセプトは,様々な工学デバイスに応用さ れている.著者らは,ジュール加熱によって面外方向ステップ状に変形する切り紙式熱バイモルフ薄 膜アクチュエータを設計した.薄膜直径 2 mm のシングルステップ型および直径 4 mm のマルチステ ップ型の 2 種類のアクチュエータを MEMS プロセスを用いて作製した.シングル型は供給電力 131 mW でストローク 0.2 mm,マルチ型はわずか 128 mW でミリ長ストローク 1.1 mm を達成した.本 稿では,提案した切り紙 MEMS アクチュエータの熱・機械特性を明らかにした. This paper presents a millimeter-stroke electrothermal kirigami MEMS actuator with low driving power for endoscopic applications. Kirigami, a traditional Japanese art of paper cutting and folding, is a promising approach for engineering out-of-plane film structures. Based on the concept of a thermal bimorph kirigami film being folded by the thermal expansion difference, the proposed MEMS actuator is electrothermally transformed into an out-of-plane step structure. Two types of kirigami actuators, multistep and single-step actuator, were successfully fabricated by MEMS processes. The single step actuator with 2 mm film diameter provided a 0.2 mm vertical displacement at 131 mW, and the multistep actuator with 4 mm film diameter achieved a larger 1.1 mm actuation at only 128 mW.