Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective

Large Aperture Reflection Mirror Figure Analysis with Singular Value

“…随 着 光 电 子 技 术 的 不 断 发 展 ， 大 口 径 光 电 系 统 在 激 光 通 信 、 天 文 光 学 、 空 间 光 学 、 地 基 空 间 目 标 探 测 与 识别等高技术领域得到了越来越广泛的应用， 其表面面形的检测与评价直接影响制造精度与成像质量 [1][2][3][4][5] ； 如果可以按照不同的误差源将误差分离(如重力印透造成的起伏与磨削、 测试造成的噪声)， 就可以对系统性 能进行针对性的提高 [6][7][8][9][10] 。随着支撑与加工技术的进步， 各种噪声的大小变得越来越接近， 为了更好地对大 口径反射镜进行调节与评价， 需要引入一种合理的分离方法 [11][12][13][14][15][16][17]…”