Demonstration of efficient SBN thin film based miniaturized Mach Zehnder EO modulator

Получение, особенности структуры, элементный состав и диэлектрические свойства двухслойной структуры на основе тонких пленок мультиферроика BiFeO-=SUB=-3-=/SUB=- и сегнетоэлектрика (Sr, Ba)Nb-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-6-=/SUB=-

“…[1, 5,6]. Перспективный набор свойств, с нашей токи зрения, может быть реализован в гетероструктурах на основе материалов со структурой перовскита и тетрагональных вольфрамовых бронз, в частностиферрита висмута (BiFeO 3 (BFO) -мультиферроик с T С = 1083 K, T N = 643 K, P ∼ 100 µС/сm 2 ) и ниобата бария-стронция ((Ba, Sr)Nb 2 O 6 (SBN) -одноосный сегнетоэлектрик, успешно используемый в зависимости от состава в пироприемниках, нелинейной оптике и оптических модуляторах [7]). Возможность получения гетероэпитаксиальных пленок BFO и SBN при достаточно близких технологических условия с использованием одностадийного метода ВЧ катодного распыления нами показана в [8,9].…”

Preparation, structural features, elemental composition of and dielectric properties of a two-layer structure based on thin films of multiferroic BiFeO-=SUB=-3-=/SUB=- and ferroelectric (Sr, Ba)Nb-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-6-=/SUB=-

“…[1,5,6]. A promising set of properties, from our point of view, can be realized in heterostructures based on materials with the structure of perovskite and tetragonal tungsten bronzes, in particularbismuth ferrite (BiFeO 3 (BFO)multiferroic with T C = 1083 K,T N = 643 K, P ∼ 100 µC/cm 2 ) and barium-strontium niobate ((Ba, Sr)Nb 2 O 6 (SBN)uniaxial ferroelectric, successfully used depending on the composition in pyropriemniki, nonlinear optics and optical modulators [7]). The possibility of obtaining heteroepitaxial BFO and SBN films under sufficiently similar technological conditions using a single-stage RF cathode sputtering method is shown in [8,9].…”