The measurement of DLTS on the alloy In,Ga,-,As,P,-, (0 5 y 5 0.3; 0.5 2 x 2 0.35) shows a new signal, labeled as E,, with an activation energy of E, -0.61 eV and the SIMS signals show a large number of oxygen. To clarify is further, the energy of the deep level E , is quantitatively calculated by using Vogl's tight-binding theory and Hjalmarson's deep level theory. As a result, the deep A,-symmetric level associated with an oxygen on the anion site of In,Gal-,As,P,-, locates deeply in the band gap. Thus, the level E, is considered to be induced by the oxygen impurity.DLTS-Messungen an der InxGal-xAsyP1-y (0 5 y 6 0,3; 0,5 2 x 2 0,35) zeigen ein neues Signal, bezeichnet mit E,, mit einer Aktivierungsenergie von E, -0,61 eV. Die SIMS-Signale zeigen eine groDe Anzahl von Sauerstoff. Um dies weiter aufzuklaren, wird die Energie des tiefen Niveaus E, quantitativ mit der Tight-Binding-Theorie von Vogl und der Theorie tiefer Niveaus von Hjalmarson berechnet. Als Ergebnis ist das tiefe Niveau mit A,-Symmetrie mit einem Sauerstoff auf Anionenplatz von In,Ga, -xA~yP1 -y tief in der Bandliicke lokalisiert. Somit wird angenommen, dal3 das E,-Niveau durch die Sauerstoffstorstelle induziert wird.