Deformation and delamination behavior of sputter-deposited film on the conical protrusions formed by sputter-etching of stainless steel wire

Deformation Characteristics of Fine Protrusions Formed by Sputter-Etching of Stainless Steels

“…Large anchor effect of protrusions will prevent the delamination of film under repeated contact load. The author (8) has already confirmed this effect for silver film on a stainless steel wire receiving bending. Whatever purpose the surface with protrusions is used, the strength of protrusions is very important.…”

Formation of Fine Holes and Protrusions on Ti-6Al-4V Alloy by Argon-Ion Sputter-Etching

“…． 著者らも，これまでに，低合金鋼 7) ，ステンレス鋼 [7][8][9][10][11][12][13][14] ，工 具鋼 7,10,15) ，銅合金 16,17) などのスパッタエッチングを行い，直 径が 200 nm-50 µm の円錐状，円柱状あるいはリッジ状の突 起物が高密度で形成されることを明らかにし，突起物のもつ 光吸収特性 9,11,12) ，電子放出特性 17) ，超撥水・超親水性 10,12) ， アンカー効果 8) ，グリップ・穴あけ特性 13,14) などの機能につ いて調べた． ところで，チタンおよびチタン合金は，他の金属に比べて 軽量で比強度が大きく，耐食性に優れている．また，チタン およびある種のチタン合金は生体に対して無毒であり，すで にチタン合金製インプラント表面に微細構造を形成させて生 体適合性を高める試みが行われている [18][19][20][21] ．著者らは，前 報 22) において，工業用純チタンを SUS304 ステンレス鋼円板 上に載せてアルゴンイオンでスパッタエッチングすると，底 面直径が数 µm の円錐状突起物が形成されることを示した． また，工業用純チタンを V または Ta 円板上に載せてスパッ タエッチングすると直径が 500 nm 以下の微細孔が形成され るが 23,24) ，Nb，Mo および W 円板上に載せてスパッタエッチ つぎに，Fig. Ti-6Al-4V 合金のアルゴンイオンスパッタエッチングによる微細孔および微細突起物の形成…”