Das akkumulierende Messprinzip in der Gassensorik - vom konzentrations- zum mengenintegrierenden Verhalten

Abstract

Das integrierende (akkumulierende) Messprinzip ist ein sehr vielversprechendes Verfahren, mit dem selektiv kleinste Mengen an Analyt mit einer hohen Genauigkeit detektiert werden können. Dabei wird die Änderung der elektrischen Eigenschaften eines Speichermaterials infolge der Sorption des Analyten gemessen. In bisherigen Arbeiten zum integrierenden NO x -Sensor wurde das Hauptaugenmerk auf die integrierenden Eigenschaften bezüglich der Konzentration gelegt. Mit diesem ersten Design war es nur möglich, unabhängig von der Gasgeschwindigkeit zu messen. Mit dem vorgestellten neuen Sensordesign kann nun abhängig von Analytkonzentration und Volumenstrom die tatsächliche geflossene Menge einer Gasspezies selektiv detektiert werden. Bild 1 a) Sensordesign zur Integration der KonzentrationDas integrierende Messverfahren bietet eine Reihe an Vorteilen gegenüber herkömmlichen Gassensoren. Zum Einen können selbst kleinste Mengen an Analytgas in der sensitiven Schicht gespeichert werden und somit zur Signaländerung beitragen. Indem man die zeitliche Ableitung des Signals bei konstanter