Cпектроскопия Полного Тока Окисленного Кремния

Abstract

В настоящей работе рассмотрены экспериментальные данные окисления поверхности кремния в вакууме при последующем отжиге, полученные методом спектроскопии полного тока. Проведенные исследования показали, что при использовании температурного отжига для очистки поверхности кремния от загрязнений есть свои плюсы и минусы. Нельзя допустить длительный отжиг при высоких температурах, который приводит к окислению кремния. А использование кратковременной вспышки можно использовать только для удаления физически (не химически) адсорбированного слоя атомов.