2000
DOI: 10.1016/s0257-8972(00)00980-4
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

CrxNy hard coatings deposited with PVD method on tools for wood machining

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1
1

Citation Types

0
20
0
4

Year Published

2002
2002
2020
2020

Publication Types

Select...
6

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 63 publications
(24 citation statements)
references
References 8 publications
0
20
0
4
Order By: Relevance
“…Наибо-лее часто исследовалось влияние парциального давления азота [17,18,21,32,33], в меньшей мере -степени ионизации плазмы и вели-чины смещения на подложке [14,20]. Температура на подложке, как правило, в каждом исследовании выбиралась неизменной.…”
Section: магнетронное распыление -мрunclassified
See 3 more Smart Citations
“…Наибо-лее часто исследовалось влияние парциального давления азота [17,18,21,32,33], в меньшей мере -степени ионизации плазмы и вели-чины смещения на подложке [14,20]. Температура на подложке, как правило, в каждом исследовании выбиралась неизменной.…”
Section: магнетронное распыление -мрunclassified
“…В наибо-лее часто используемом диапазоне температур -200-400С наблю-дался как переход Cr    CrN, так и Cr    Cr 2 N    CrN в зависимости от общего и парциального давления в камере [14,18,20,21,32]. При температурах    200С ситуация аналогична [17,31,33,43,54].…”
Section: магнетронное распыление -мрunclassified
See 2 more Smart Citations
“…Such nitride coatings are mainly produced in PVD -equipment by dc reactive sputter deposition or arc evaporation under Ar/N 2 -reaction gas [1]. During the production of Cr x N, the N 2 partial pressure influences the formation of the nitrides: CrN arises preferable at higher N 2 gas concentrations, while the harder and more shock resistant Cr 2 N is obtained at lower concentrations of N 2 in the gas mixture [2,3].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%