Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico

Abstract

Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar +. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e fluxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos filmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, refletividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 o C são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar + mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos filmes finos. Amostras com excelente qualidade-baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade-foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV. Palavras-chaves: IBAD. alumina. Al 2 O 3. óxido de alumínio. filmes finos. caracterização de filmes finos. análise por feixe iônico. IAB.