Abstract:Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar +. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e fluxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos filmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, refletividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente… Show more
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