В данной работе приводятся расчет движения ионного пучка в ионно-оптической системе (ИОС) миниатюрного линейного ускорителя (МЛУ). Результаты моделирования используются для оценки распыления электродов и напыления их материала на высоковольтный изолятор ИОС. Приведены оценки скорости напыления, преимущественной области запыления изолятора и их сравнение с экспериментальными данными.